洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级
GB/T 25915.8-2010
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洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级 GB/T 25915.8-2010
1 范围
2 规范性引用文件
3 术语和定义
4 分级
5 合格的证明
附录A 所需考虑的因素
附录B 常见污染物
附录C 常用测量方法
附录D 隔离装置的特殊要求
参考文献