| 1 总 则 |
| 2 术 语 |
| 3 基本规定 |
╁4 工 艺| 4.1 一般规定 | | 4.2 基本工序与生产协作 | | 4.3 设备配置 | | 4.4 工艺区划与设备布置 | | 4.5 厂房洁净度要求 |
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╁5 总 图| 5.1 一般规定 | | 5.2 总平面布置 | | 5.3 竖向设计 | | 5.4 交通组织 | | 5.5 绿化设计 |
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╁6 建 筑| 6.1 一般规定 | | 6.2 防火设计 | | 6.3 防腐蚀设计 |
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| ╁7 结 构 |
| ╁8 动 力 |
╁9 供暖通风与空气净化| 9.1 一般规定 | | 9.2 通风与废气处理 | | 9.3 空气调节与净化 | | 9.4 防 排 烟 |
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╁10 给水排水| 10.1 一般规定 | | 10.2 一般给水排水 | | 10.3 纯 水 | | 10.4 工艺循环冷却水 | | 10.5 废水处理 | | 10.6 消防给水与灭火器配置 |
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╁11 电 气| 11.1 一般规定 | | 11.2 供电系统 | | 11.3 电力照明 | | 11.4 防雷与接地 | | 11.5 通信与自控 | | 11.6 防 静 电 |
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╁12 化 学 品| 12.1 一般规定 | | 12.2 化学品储存 | | 12.3 化学品管道输送 | | 12.4 化学品废液收集与回收 |
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| 13 空间管理 |
╁14 节 能| 14.1 一般规定 | | 14.2 冷热源系统节能 | | 14.3 设备节能 | | 14.4 电气节能 | | 14.5 其他节能措施 |
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| 附录A 印制电路板典型生产工艺流程 |
| 附录B 印制电路板生产工序洁净度等级推荐表 |
| 本规范用词说明 |
| 引用标准名录 |