电子工业废气处理工程设计标准[含条文说明]

所属分类: 国家规范-建筑专业
版本号: GB 51401-2019
规范大小: 1.46M
类别: 文字版 文字版
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目录索引:
╁电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
　1 总则
　2 术语
　3 基本规定
╁4 工艺及工艺设备
　4．1 一般规定
　4．2 污染物控制
　4．3 应急设施
╁5 碱性废气系统
　5．1 一般规定
　5．2 处理流程和方法
　5．3 处理设备
　5．4 风管及附件
╁6 酸性废气系统
　6．1 一般规定
　6．2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
╁7 挥发性有机物废气系统
　7．1 一般规定
　7．2 废气收集、排风管道系统
　7．3 处理系统
　7．4 处理设备
　7．5 自动控制及安全措施
╁8 特种废气系统
　8．1 一般规定
　8．2 烷类尾气处理系统
　8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
　8．4 其他特种尾气处理系统
　8．5 中央废气处理系统
╁9 除尘系统
　9．1 一般规定
　9．2 系统设计、处理流程及方法
　9．3 处理设备
　9．4 风管及附件
╁10 电子玻璃窑炉废气系统
　10．1 一般规定
　10．2 系统设计、处理流程及方法
　10．3 处理设备
　10．4 风管及附件
╁11 事故通风
　11．1 一般规定
　11．2 系统设计及有害气体净化
╁12 电气设计
　12．1 供配电与照明
　12．2 防雷与接地
　附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
　本标准用词说明
　引用标准名录
╁条文说明
　1 总则
　3 基本规定
╁4 工艺及工艺设备
　4．1 一般规定
　4．2 污染物控制
　4．3 应急设施
╁5 碱性废气系统
　5．1 一般规定
　5．2 处理流程和方法
　5．3 处理设备
　5．4 风管及附件
╁6 酸性废气系统
　6．1 一般规定
　6．2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
╁7 挥发性有机物废气系统
　7．1 一般规定
　7．2 废气收集、排风管道系统
　7．3 处理系统
　7．4 处理设备
　7．5 自动控制及安全措施
╁8 特种废气系统
　8．1 一般规定
　8．2 烷类尾气处理系统
　8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
　8．4 其他特种尾气处理系统
　8．5 中央废气处理系统
╁9 除尘系统
　9．1 一般规定
　9．2 系统设计、处理流程及方法
　9．3 处理设备
　9．4 风管及附件
╁10 电子玻璃窑炉废气系统
　10．1 一般规定
　10．2 系统设计、处理流程及方法
　10．3 处理设备
　10．4 风管及附件
╁11 事故通风
　11．1 一般规定
　11．2 系统设计及有害气体净化
╁12 电气设计
　12．1 供配电与照明
　12．2 防雷与接地
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